TFT LCD 장비 건식화 추세

TFT LCD업계는 TFT(박막)제조공정에서 수율이 우수하고 안정된 습식장비를 주로 사용해 왔으나 최근 환경보전성이 뛰어나고 비용이 절감되는 건식장비의 활용을 적극 검토하고 있다.

TFT LCD 제조업체들의 이같은 움직임에 대응, 장비제조업체들도 생산성이 뛰어난 건식장비 개발에 박차를 가하고 있어 머지않아 건식장비가 습식장비를 대체할 것으로 전망되고 있다.

TFT LCD 제조업계는 그동안 아모퍼스실리콘 박막(TFT) 제조공정에서만 건식 에처를 사용해 왔으나 게이트메탈과 소스메탈등 전극형성 제조공정에서도 건식에처의 활용을 늘리고 있다.

에처제조업체인 일본의 도쿄일렉트론사의 한 관계자는 『메탈전극 제조공정에서도 이미 10%에서 20%의 공정이 건식에처로 대체됐으며 오는 2000년까지 건식에처의 사용비중이 50%까지 제고될 것으로 예상된다』고 밝혔다.

에처에 이어 세정장비(애셔)에서도 건식화 바람이 일고 있다.

실리콘이나 금속을 식각한 후 나오는 미세한 찌꺼기(파티클)를 깨끗이 없애주는 애셔는 아직까지 화학약품으로 파티클을 녹이거나 분해시키는 습식제품이 주로 이용되고 있으나 초음파 등을 이용해 파티클을 분해시키는 건식제품이 잇따라 개발되고 있다.

건식애셔는 특히 최근 파티클을 0.1미크론크기로 부숴주는 초음파방식 제품도 개발돼 습식애셔의 파티클 분해기능을 충분히 대체할 수 있는 수준까지 도달해 별도의 건조공정이 필요없어 습식에 비해 공정 혁신까지 이룰수 있는 장점을 지니고 있는 것으로 평가받고 있다.

TFT LCD업계 관계자들은 『건식애셔가 파티클을 0.1미크론까지 분해할 수 있으면 건조공정은 물론 나아가 찌꺼기를 씻어내는 세척공정까지도 생략될 수 있기 때문에 이점이 매우 크다』며 건식애셔에 지대한 관심을 기울이고 있다.

<유성호 기자>