다산C&I, 항온항습장치 개발

반도체용 칠러(Chiller) 전문 생산 업체인 다산C&I(대표 오희범)는 열전소자를 이용한 항온항습장치(THC:Temperature Humidity Controller) 「FOCUS」를 개발, 이 시장에 본격 진출한다.

항온항습장치는 노광 및 트랙 등 각종 반도체 공정 장비에 부착돼 일정한 온도와 습도를 유지해 주는 주변 장치로 그동안 국내 수요 대부분을 일본 고마츠 등 외산 제품에 의존해 왔다.

특히 이번에 개발된 항온항습장치는 프레온 등의 유해성 냉매를 사용하던 기존 방식과는 달리 첨단 냉각장치인 열전소자(Thermo-electric heating & colling Module)를 이용, 제품 크기 및 성능을 획기적으로 개선했다고 회사측은 설명했다.

또한 이 장비는 별도의 탱크 및 펌프 시설이 필요없는 직접 냉각 방식을 채택함으로써 제품 크기를 더욱 소형화했으며 영하 10도에서 30도 까지의 최대 냉각 및 가열 기능과 70%까지의 가습 능력을 지니고 있다.

이 회사는 개발된 장비를 국내 소자업체에 시험 납품함과 동시에 이달부터 양산에 착수, 월 30대 이상을 생산할 계획이다.

오희범 사장은 『열전소자를 이용한 항온항습장치의 개발은 세계적으로도 처음있는 일이며 특히최근 이 장비를 국내 한 소자업체를 통해 성능을 시험한 결과, 온습도 유지 기능면에서 외산에 비해 훨씬 우수하다는 평가를 받았다』고 강조했다.

<주상돈 기자>