일 업계, 에피텍셜 웨이퍼 증산 박차

일본 반도체 웨이퍼 생산업체들이 8인치 에피텍셜 웨이퍼 증산에 박차를 가하고 있다.

일본 경제전문지들의 최근 보도에 따르면 일본 웨이퍼 생산업체인 미쓰비시머티리얼社가 일본과 미국공장의 8인치 에피텍셜 웨이퍼 생산능력을 확대할 방침이며, 고마쓰전자금속은 최근 미국에 8인치 에피텍셜 웨이퍼 새 공장을 완공, 가동에 들어간 것으로 알려졌다.

일본 웨이퍼업체들이 이처럼 에피텍셜 웨이퍼 증산에 주력하는 것은 D램분야 주도권이 16M에서 64M로 전환되면서 고품질의 결정을 형성할 수 있는 에피텍셜 웨이퍼의 수요가 급증할 것으로 예상되고 있기 때문이다.

현재 한국업체들과 일본 도시바를 제외한 대부분의 미, 일 반도체업체들은 64MD램 생산에 에피텍셜 웨이퍼 채용을 검토하고 있다.

미쓰비시머티리얼은 홋카이도 치도세공장의 8인치 에피텍셜 웨이퍼 생산능력을 8월 말까지 월 9만장으로 확대하는 한편 미국공장의 생산규모도 내년 중에 현재의 2만8천장에서 5만장으로 2배 가까이 늘릴 방침이다.

또 고마쓰전자금속은 최근 미국 오리건주에 8인치 에피텍셜 웨이퍼를 월 10만장 생산할 수 있는 새 공장을 완공했다.

이에 따라 이 공장이 풀가동되는 내년 말에는 일본 나가사키공장을 포함한 고마쓰전자금속의 총 생산규모가 현재의 월 7만장에서 20만장으로 확대된다.

이밖에 신에츠반도체, 스미토미시텍스 등도 이미 에피텍셜 웨이퍼 증산을 적극 추진하고 있다.

<심규호 기자>