아펙스, 에피 웨이퍼시장 참여

반도체장비업체인 아펙스(대표 김상호)가 에피(Epi)웨이퍼 생산에 참여한다.

아펙스는 장비와 재료시장의 안정적인 사업구조를 구축하기 위해 유기금속화학증착장비(MO-CVD)기술을 이용, 연내에 에피웨이퍼 생산을 시작할 방침이라고 30일 밝혔다.

이 회사는 이를 위해 7월 초 일본 A社와 기술협력계약을 체결하고 7월중 현 청원공장 인근에 20억원을 들여 4백평 규모의 전용공장을 착공, 10월에 시가동한 후 연말부터 본격 생산에 들어갈 계획이다.

아펙스는 우선 에피 리액터 2대를 도입해 4인치 웨이퍼를 월 5천장 규모로 생산, 일본에 OEM수출하는 한편 내년 1.4분기까지 5대를 추가 도입, 생산능력 확대는 물론 5,6인치 웨이퍼도 생산할 예정이다.

김상호 사장은 『현재 보유중인 MO-CVD기술을 활용할 경우 고품질의 단결정 성장은 물론 대량생산도 가능해 통신용 반도체에 많이 쓰이는 갈륨비소 등 화합물반도체용 에피웨이퍼 생산에 적합하다』고 설명하며 웨이퍼 생산이 본격화될 경우 재료분야에서만도 연간 1백50억원의 매출이 가능할 것으로 내다봤다.

이번 아펙스의 에피웨이퍼 시장 본격 참여로 국내 에피웨이퍼 생산업체는 한국LPE, 국제전자 등 3개사로 늘어나게 된다.

<김경묵 기자>