한택, 현대전자에 웨이퍼 자동이송장치 공급

반도체장비업체인 한택(대표 한종훈)이 현대전자 미국 유진 현지공장에 3백만 달러어치의 웨이퍼 자동이송장치(소터)를 공급한다.

이 회사는 최근 현대전자 미국공장에 자동 카세트 방식의 웨이퍼 이송장치 「HAS200AC-4」 20대를 공급키로 하고 이달부터 본격 선적에 들어갈 예정이라고 4일 밝혔다.

이번 공급되는 자동이송장치는 지난해 이 회사가 총 3억원의 개발비를 들여 자체 개발한 제품으로 반도체 웨이퍼가공 공정(FAB)에서 웨이퍼의 손상없이 공정간 이송을 가능토록 하는 일종의 핸들링 머신이다. 특히 이 제품은 자동 카세트 방식과 특수 안전 장치를 채택, 이송 능력 및 안정성이 기존 제품보다 25% 이상 향상됐다고 회사측은 밝혔다.

한종훈 사장은 『이번 현대전자에의 공급은 성능 시험 또는 연구용 제품이 아닌 실제 양산 라인용 제품이라는데 의미가 있으며 이로써 향후 12인치 웨이퍼 시대에 대비한 웨이퍼 자동 이송장치의 개발 및 생산시에도 유리한 입장에 서게 됐다』고 말했다.

<주상돈 기자>