SEMI저팬, 차세대 LCD생산라인 표준 마련

차세대 액정표시장치(LCD) 제조 장비의 표준화가 사실상 마무리되어 오는 2000년에는 표준 규격을 채택한 제품이 선보일 전망이다.

「日本經濟新聞」에 따르면 국제반도체제조장치재료협회(SEMI)저팬은 차세대 LCD 제조라인 개발 방향을 결정한 보고서를 마련하고 30일 오사카에서 개최되는 「FPD엑스포 포럼97」에 상정했으며 오는 6월말까지 최종안을 확정할 계획이다.

이 보고서는 패널, 제조장치,재료업체 등 관련업체 약 1백개사가 1년 이상 논의해 결정한 것으로 세대교체가 급격히 일고 있는 LCD제조장치의 표준화를 위한 구체적인 제안 내용을 담고 있다.

이 보고서는 차세대 라인에 사용될 유리기판은 현재 가동중인 제3세대 기판보다 1.7∼2배 확대된 70cm*85cm*95cm을 표준 크기로 설정하고 있다. 이는 PC용 17인치 LCD 6장, 20인치 LCD는 4장을 취할 수 있는 크기이다. 또 기판 위에 균일한 TFT(박막트랜지스터) 형성하는 공정을 비롯해 기판의 효율적인 운반과 세척, 액정구동용IC 등 관련기술과 부품의 기준도 모두 제시하고 있으며 개발 완료 시기는 2000년을 목표로 하고 있다.

SEMI저팬은 차세대 라인의 기판 확대와는 별도로 3세대 제조라인의 생산성 향상 방안도 마련, 처리속도를 30% 높이고 비용을 25% 줄이는 목표도 설정했다.

LCD 제조장비는 세대교체가 빠른 데다 반도체 장비에 비해 시장규모도 작아 표준화를 통해 장비업체들의 개발비를 절약하는 한편 부품업체들의 서비스 투자부담을 줄이는 것이 시급한 문제점으로 지적돼 왔다.

<박주용 기자>