반도체장비 CTC 시스템 개발경쟁 본격화

에처, CVD, 스퍼터 등 첨단 반도체장비 개발에 필수적인 클러스터 툴 컨트롤러(CTC)시스템 개발 및 공급경쟁이 본격화되고 있다.

1일 관련업계에 따르면 지난해 CTC 관련 소프트웨어 전문업체인 테크웨어를 인수하며 이 시장에 뛰어든 브룩스 오토메이션이 최근 한국지사 설립과 함께 CTC 관련 솔루션을 공급하기 시작한 데 이어 국내 반도체장비 업체인 아토가 미국 RPI社 등 CTC 관련 전문업체들과 제휴, 이 시장에 본격적으로 가세했다.

또한 반도체장비용 컨트롤러 전문업체인 국내 S社도 차세대 반도체장비를 위한 CTC 솔루션의 상용화를 위해 최근 정보통신부로부터 우수 신기술 자금을 지원받아 이의 개발 및 보급에 나서는 등 국내 CTC시스템 시장이 본격적인 경쟁체제에 접어들고 있다.

이처럼 CTC시스템의 국내공급이 본격화되고 있는 것은 최근 개발하는 반도체장비의 대부분이 진공로봇, 체임버 등의 여러 핵심 컴포넌트들을 서로 연결하고 조합하는 「믹스&매치」 방식으로 개발되면서 이의 원활한 조립과 동작을 관장하는 클러스터 툴 관련 솔루션이 장비성능을 결정짓는 핵심 기술로 인정받고 있기 때문으로 풀이된다.

최근 분당에 한국지사를 개설한 브룩스 오토메이션은 그동안 주력해 온 로봇시스템 관련 솔루션을 바탕으로 지난해 인수한 테크웨어의 반도체장비용 프로세스 모듈 기술과 현재 개발을 추진중인 웨이퍼 이송 관련 상위 컨트롤 기술을 결합, CTC 관련 종합 솔루션 제공에 주력할 방침이다.

지난해 CVD장비 개발을 계기로 이 시장에 뛰어든 아토는 반도체장비용 클러스트 툴 전문업체인 미국 RPI 및 진공로봇 생산업체인 이퀴프먼트 테크놀로지社와 기술제휴를 맺고 올해부터 본격적인 CTC시스템의 생산 및 판매에 돌입한다.

특히 브룩스 오토메이션 및 RPI는 과거 테크웨어가 보유했던 프로세서 모듈 기술과 RPI의 CTC 소프트웨어 기술을 둘러싸고 상호 특허권 분쟁까지 일고 있는 것으로 알려지는 등 업체간 경쟁이 갈수록 치열해지고 있다.

이런 가운데 그동안 CTC 소프트웨어의 국산화를 추진해 온 국내 S社는 「차세대 반도체장비를 위한 객체지향형 프로그램 기법(OOP:Object Oriented Programming)의 첨단 분산제어 시스템」의 1차 개발을 완료했다.

그리고 최근 국내 H社 등을 통해 시험가동에 들어간 것으로 알려져 국내 CTC 시장은 새로운 국면을 맞게 됐다.

국책 G7프로젝트의 하나로 이 회사가 개발중인 CTC시스템은 에처, CVD 등의 각종 반도체장비에 부착돼 여러 공정 체임버 내의 웨이퍼 이송을 제어하고 공정에 필요한 각종 가스 및 약품을 자동으로 조절, 공급해 주는 HW, SW 제품으로 첨단 반도체장비 개발용 핵심 기술이다.

<주상돈 기자>