삼영순화, 64MD램용 과산화수소 생산 본격화

삼영순화(주)가 64MD램 이상에 적용할 수 있는 초고순도 과산화수소의 생산을 본격화한다.

이 회사는 이를 위해 경남 온산 소재 5천평 부지에 연산 8천톤 규모의 신규 공장 건설을 최근 완료하고 이달부터 본격적인 시험가동에 들어갔으며 이로써 기존의 7천톤 생산시설을 합쳐 연간 총 1만5천톤의 과산화수소 생산이 가능케 됐다고 5일 밝혔다.

이 회사가 생산할 차세대 반도체용 과산화수소는 금속이온 등의 불순물 함유량이 10PPT 이하로 고집적 반도체 제조의 에칭 및 증착 공정에서 웨이퍼의 세척에 필수적인 초고순도 화학약품이다.

지난 연말 64MD램용 과산화수소를 국내 처음으로 삼성 기흥 8라인에 공급한 이 회사는 올해부터 국내 소자업체들의 64MD램 양산이 본격화될 것으로 예상됨에 따라 이 제품의 생산 및 판매에 더욱 주력할 방침이다.

<주상돈 기자>