다산씨앤드아이, 초소형 칠러 생산 본격화

반도체장비 업체인 다산C&I(대표 오희범)가 프레온 가스 등 냉매를 사용하지 않는 초소형 칠러(Chiller) 「2000M」을 하반기부터 본격적으로 생산한다.

냉각수 순환을 통해 10∼70 사이의 온도를 제어할 수 있는 이 제품은 반도체 제조과정의 노광 및 애칭공정중 과도한 열이 발생하는 전극판을 일정 온도로 유지시킴으로써 고온으로 인한 웨이퍼 파손 및 에러 발생을 방지해 주는 온도조절 장치이다.

특히 이 장비는 프레온 가스를 사용하던 기존 제품들과는 달리 고체상태의 열전소자(Thermo electric heating & colling Module)를 이용한 무냉매 방식을 채택, 제품크기의 축소는 물론 환경문제도 해결했다.

이 회사는 이 제품의 생산을 위해 미국 노아프레시전社와 기술제휴를 체결한 데 이어 최근 수원 제1공장에 연산 2백대 규모의 양산라인을 구축하고 오는 하반기부터 본격적으로 생산할 방침이다.

<주상돈 기자>