테라다인, 64개 램 동시검사장비 「멀린 시스템」 공급

반도체테스터 업체인 테라다인(대표 장홍조)이 64개의 램 반도체를 동시에 처리할 수 있는 웨이퍼 프로브 검사장비 「J996FA」와 2백50의 고속검사가 가능한 양산용 테스터 「J996E」를 패키지화한 「멀린 시스템」을 국내에 공급한다.

각각 16개의 I/O 핀을 가진 64개의 소자를 웨이퍼 프로브로 병렬검사할 수 있는 「J996FA」는 소자의 특성 및 오류분석을 위해 사용될 테스트 결과를 저장하기 위해 검사헤드당 캐치 램을 5기가 이상으로 늘렸으며 확인된 결함을 수정하는 리던던시 기능의 각종 하드웨어 및 소프트웨어도 갖추고 있다.

이 장비와 서로 소프트웨어가 호환되는 「J996E」 테스터는 고성능 검사 및 소자교정을 위한 오류분석 기능의 강화를 통해 기존 장비보다 2배 이상의 빠른 주파수 검사와 4베 이상의 수율향상을 보장한다.

테라다인은 『멀린 시스템은 세계적으로도 보기 드문 64개 IC를 동시에 검사할 수 있는 장비이기 때문에 이 시스템의 원활한 활용을 위해 핸들러, 탐침, 프로브 카드 등 각종 소모품까지 함께 공급할 계획』이라고 밝혔다.

<주상돈 기자>