日어드반테스트, EB노광장치 사업 참여

일본 어드반테스트社가 계측기, 반도체검사장비 분야에 이어 노광장치사업에도 참여한다.

일본 「日經産業新聞」의 최근 보도에 따르면 어드반테스트社는 반도체웨이퍼상에 회로를 형성하는 전자광선(EB)노광장치 「F5120」를 발매했다. 후지쯔와 공동 개발한 이 제품은 반도체웨이퍼 상에 0.18-0.13미크론의 선을 형성할 수 있어,현재의 16MD램은 물론 차세대 D램인 2백56M와 차차세대 D램인 1GD램에 까지 대응한다.가격은 약 10억엔으로, 어드반테스트는 내년에 5대, 오는 99년에는 20대를 판매할 것으로 기대하고 있다.

이와동시에 어드반테스트는 EB를 이용한 고정밀 반도체검사장비 EB테스터의 판매도 강화할 방침이다. 어드반테스트는 지난 3월 합병한 독일의 ACT가 기본설계한 EB테스터 신제품 「E1355B」를 개발, 일본시장 판매를 시작했다. 이 제품 가격은 약 5천만엔으로, 첫해 20대 판매를 목표로 하고 있다.

<심규호 기자>