日 니콘, 64MD램용 스테퍼 생산 확대

일본의 주요 반도체제조장비업체인 니콘이 64MD램용 스테퍼(축차이동식노광장치)생산을 크게 늘린다.

「日本經濟新聞」의 최근 보도에 따르면 니콘은 KrF(불화크립톤)엑시머레이저를 광원으로 하는 64MD램 양산용 엑시머스테퍼의 생산규모를 올해 약 40대에서 내년에는 1백50대로 4배정도 증산할 계획이다.

이는 현재의 주력기종인 i선(파장 3백65나노미터의 자외선)스테퍼가 반도체업체들의 16MD램 감산으로 주문이 크게 줄어들고 있기 때문으로, 니콘은 i선 스테퍼 대신 수요가 본격화되기 시작한 엑시머스테퍼 생산에 주력할 방침이다.

엑시머스테퍼의 시장가격은 i선의 약 1.7배인 4억엔이상으로, 니콘은 앞으로 이 제품이 반도체장비부문의 매출을 지탱해줄 것으로 기대하고 있다.

니콘은 지난 3월 반도체업체들의 증산계획에 편승해 사이타마현 구마모토공장의 i선 스테퍼생산규모를 크게 확대했었다. 그러나 반도체업체들의 16MD램 감산 여파로 i선 스테퍼의 올 판매대수가 지난해 수준인 5백80만대에 머물 것으로 예상됨에 따라, 이 공장 i선스테퍼생산라인의 일부를 64MD램용 엑시머스테퍼 라인으로 전환하는 것이다. 니콘은 이와 동시에 i선스테퍼 생산을 일부 자회사로 이관할 것을 검토중에 있다.

<심규호 기자>