한국스피드팸, CMP장비 공급 본격화

한국 스피드팸이 반도체 전공정에서 웨이퍼 표면을 균일하게 해주는 물리적, 화학적 연마장치 「케미컬 미케니컬 폴리싱(CMP)」 장비를 본격 공급한다.

반도체장비 공급업체인 한국스피드팸(대표 김윤진)은 향후 국내 반도체시장이 64MD램 이상의 고집적 메모리와 주문형 반도체 등 비메모리 분야로 고도화됨에 따라 CMP장비 수요가 크게 증가할 것으로 보고 「CMP-224」, 「CMP-V」, 「아리가(AURIGA)」 등 CMP장비와 CMP클리너 장비인 카펠러 등을 본격 공급할 예정이라고 밝혔다.

특히 이 회사가 주력공급하는 최신 CMP장비인 아리가는 한번에 웨이퍼 1~2장 정도를 처리하던 기존 장비와 달리 최고 5장까지 처리가 가능하며 공정컨트롤 기능을 향상시켜 인라인 시스템으로 연속처리가 가능하다. 또한 세컨 테이블 드라이브를 장착해 재가공하거나 흠집 등을 대폭 줄일 수 있으며 드라이 인-드라이 아웃(Dry in-Dry out)방식을 적용해 별도의 세척장비가 필요없다.

한편 한국 스피드팸은 장기적으로 CMP장비를 국산화한다는 방침아래 별도의 연구인력을 확보하고 천안반도체장비공단에 부지를 확보중인 것으로 알려졌다.

<강병준 기자>