日 히타치, 차세대 웨이퍼 자체생산

일본의 히타치제작소가 새로운 웨이퍼생산공장을 설립해 고집적 반도체생산에 필수적인 차세대 반도체웨이퍼를 자체생산한다.

「日本經濟新聞」의 최근 보도에 따르면 히타치는 자회사 히타치東京일렉트로닉스를 통해 총 1백20억엔을 투자, 이바라키縣 히타치나가市에 웨이퍼생산 전용공장을 신설할 계획이다.

히타치는 반도체가 앞으로 가격하락과 집적도 향상 등으로 채산성 확보에어려움이 있을 것으로 판단,웨이퍼를 자체적으로 생산하기로 했다.

히타치는 새 공장에서 생산되는 웨이퍼를 향후 반도체시장의 주력제품이될 메모리 및 마이컴생산에 사용할 방침이다.

히타치가 새 공장을 통해 생산하는 웨이퍼는 에픽텍시얼웨이퍼로 기존의미러웨이퍼보다 원료에 대한 제품비율이 10%정도 높은 제품이다. 이 웨이퍼는 현재 미쓰비시머티리얼 등이 양산을 계획하고 있으나, 히타치는 안정적인조달을 위해 대규모 전용공장건설을 서두르고 있는 것이다.

히타치는 이달 중에 이 공장을 착공해 빠르면 내년 초에 가동, 오는 99년월 10만장의 8인치웨이퍼 생산체제를 구축할 계획이다. 히타치는 선폭 0.5미크론보다 미세한 반도체제품은 가능한 한 이 웨이퍼를 이용하여 원료의 낭비를 줄여나갈 방침이다.

지금까지 반도체생산업체들이 그룹차원에서 특수웨이퍼를 생산한 예는 있었으나, 양산에 사용할 웨이퍼의 전용생산공장을 보유하는 것은 이번 히타치가 처음이다. 최근 수익확보의 중요성이 과거 어느 때보다 중요하게 부각되고 있어 앞으로 이같은 움직임은 크게 확산될 전망이다.

<심규호 기자>