일 미쓰비시, 최소형 64MD램 칩 개발

일본의 미쓰비시전기가 세계 최소형 64MD램 칩을 개발、 오는 15일부터 샘플출하한다. "일본경제신문"의 최근 보도에 따르면 미쓰비시는 엑시머로광기술을 채용 해칩 면적 1백35 로 세계에서 가장 작은 64MD램칩을 생산한다.

미쓰비시는 0.35um 기술대신 0.3um기술을 사용해 64MD램의 면적을 40% 정 도줄이는데 성공했다.

로광광선으로는 기존의 i선이 아닌 KrF엑시머 레이저를 사용했다. 이 레이저는 0.25um 미세가공까지 대응할 수 있는 것으로 알려졌다.

미쓰비시는 이 제품의 샘플을 ULSI개발연구소를 통해 월 5만개 생산할 예정이며 샘플가격은 1개당 7만엔이다.

미쓰비시는 총1천억엔을 들여 이 제품의 양산라인을 니시조공장에 설치할 계획인데 양산라인은 내년에 착공하여 97년후반부터 가동에 들어갈 계획이 다. 미쓰비시는 오는 98년까지 월2백만~3백만개 생산체제를 갖추는 것을 목표 로하고 있다. <심규호기자>