일 반도체장비업계, 설비투자 강화

일본 반도체장비 업체들이 반도체 호황에 따른 수주호조에 대응, 설비투자 에적극 나서고 있다고 일본 "전파신문"이 최근 보도했다. 이에 따르면 이들 업체는 앞으로도 수주가 계속 늘어날 것으로 보고 증산을겨냥한 설비투자를 가속화하고 있다. 또 차세대 반도체에 대응해 신기술개발을 위한 연구개발(R &D) 투자에도 적극 나서고 있다. 95년도 반도체장비의 매출목표를 2천9백40 억엔으로 세우고 있는 도쿄 일렉트론사는 이미 지난달 규슈 사가사업소에 새 공장동을 완성, 세정장치와 레지스터 도포현상장치의 생산능력을 종래의 2배 로 확대했다. 또 지난달 초에는 도쿄 일렉트론 야마나시에 약 30억엔을 들여 새 공장동의건설에 착수했다. 내년 2월 완성되는 이 공장에서는 에칭장치, 메탈CVD장치등을 생산한다.

95년도 매출액이 전년비 85% 늘어난 1천1백억엔에 이를 것으로 전망되는 어드반테스트는 신기종 개발을 위해 군마현의 메이와공업단지 안에 새 R&D 센터를 건설키로 했다. 약 50억엔을 투자해 다음달 초 착공하는 새 연구거점 은내년 10월 완공할 계획이다.

이밖에 다이사, 그라인더의 최대 업체인 디스코사도 수주확대에 대응해 약5억엔을 투입, 새 공장동을 건설할 계획이다. <신기성 기자>