일 어드밴테스트, 반도체제조장비사업 참여

일본 최대의 반도체시험장비업체인 어드밴테스트사가 반도체제조장비사업에참여한다고 "일본경제신문"이 최근 보도했다.

이에 따르면 어드밴테스트사는 대주주인 후지쯔와 공동으로 반도체웨이퍼에초미세회로를 형성하는 로광장치를 개발하고 이의 제조 판매 보수업무를 담당할 계획이다.

노광장치의 세계시장은 니콘과 캐논 양사가 약 80%를 점유하고 있는데 어드 밴테스트는 회로선폭이 0.18미크론인 차세대 1GD램 및 미세화가 급진전되는 로직디바이스의 제조용 새 장비를 내년중 출하、 시장개척에 나설 방침이다.

이미 이 회사는 상품화를 겨냥한 시제품제작에 착수했으며 반도체업체의 1GD 램관련 투자가 본격화되는 99년에는 월간10대 생산체제를 갖출 계획이다. 새 사업에는 연구개발비로 오는 2000년까지 50억엔、 2~3년내 건설되는 공장에 30억엔정도가 투입될 예정이다.

한편 어드밴테스트가 개발하는 노광장치는 광원으로 전자빔을 사용할 예정이 다. 이는 후지쯔가 약 20년간 연구개발해 온 기술로 종래의 사진제판기술을 사용하지 않고 전자빔으로 실리콘웨이퍼에 직접 회로를 형성한다. 어드밴테 스트는 일본반도체시험장비업계의 1위업체로 매출은 반도체시험장비가 79% 、 전자계측기가 21%로 구성되어 있다. <신기성 기자>