ETRI, 반도체 표면분석용 CAD개발

반도체 제조공정에서 매우 힘든 공정의 하나인 칩 표면에 대한 관찰.분석을 자동화함으로써 반도체 제조공정을 크게 단축시킬 수 있는 컴퓨터 이용 설계 (CAD)시스템이 한국전자통신연구소(ETRI) 반도체연구단에 의해 개발됐다.

11일 ETRI(소장 양승택) 반도체연구단은 반도체 칩 표면을 현미경으로 촬영 하고 이를 편집, 분할해 설계도면과 회로를 추출해 내는 일련의 과정을 컴퓨터 환경에서 일관되게 수행할 수 있는 CAD시스템 "CHIPAGER"를 개발했다고 밝혔다. 동 반도체연구단은 이 시스템은 그동안 수작업으로 해오던 촬영.인화.분석 등 여러 과정을 자동화함으로써 사진현상과 같은 작업대기 시간을 제외하고도 70% 이상의 시간단축이 가능하다고 밝혔다.

또 육안으로 일일이 분석하던 표면정보를 컴퓨터가 대신해 줌으로써 각종 정보를 일관성있게 관리할 수 있으며 사용법이 단순해 인력배치의 효율성 제고에도 기여할 수 있을 것으로 전망했다.

"CHIPAGER"시스템은 영상촬영기.영상편집기.영상분할기.회로편집기 등 4개의 프로그램으로 구성돼 있으며, 장비의 구성은 현미경.CCD카메라와 영상압축 및 복원을 위한 X-비디오 보드및 그래픽 환경을 제공하는 선워크스테이션.프린터 등으로 이루어져 있다.

연구단은 최근 국내외 유관전시회에서 시제품을 선보인 결과 관련업계로부터 좋은 반응을 얻음에 따라 서두로직(대표 유영욱)을 통해 이를 상업화, 국내 에 공급하는 방안을 적극 추진하고 있다. <대전=최상국 기자>