서플러스글로벌(대표 김정웅)은 원자층 증착(ALD) 공정 기술과 웨이퍼 이송·로딩 기술에 대한 국내 특허 3건 등록을 완료했다고 15일 밝혔다.
특허는 △ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법 △ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템 △웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템에 대한 것이다.
구체적으로 ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법 특허는 반응기 내부 압력을 안정적으로 제어해 공정 신뢰성을 높이는 기술이다. 반응기 상부와 하부 영역 간 압력 차이를 정밀하게 관리해 공정 수행 중 발생할 수 있는 압력 불균형을 최소화하도록 설계됐다고 회사 측은 설명했다. 이를 통해 장비 개방, 유지보수, 재가동 과정에서 발생할 수 있는 리스크를 줄이고, 기존 장비의 재사용성과 운용 신뢰성을 높이는 데 기여할 것으로 기대했다.
ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템 특허는 반도체 장비 내 핵심 부품인 밸브의 상태를 AI 기반으로 분석하는 기술로, 밸브의 개폐 동작 압력, 유량 데이터를 실시간으로 분석해 이상 징후를 조기에 감지하고 향후 상태를 예측할 수 있도록 설계한 내용이다. 장비 이상을 사전에 감지해 예방정비 체계를 고도화하고, 주요 부품의 상태 관리와 장비 수명 연장을 지원하는 기반 기술로 활용될 수 있다고 서플러스글로벌은 덧붙였다.
마지막 특허는 웨이퍼 이송 및 적재 과정에서 정렬 상태를 정밀하게 감지하는 기술이다. 비전 센서를 활용해 웨이퍼 위치와 정렬 상태를 실시간으로 분석해 이송 과정에서 발생할 수 있는 정렬 불량을 신속하게 감지하는 것이 골자다.
서플러스글로벌은 중고 반도체 장비의 성능과 활용 가치를 높이는 '장비 업사이클링(Upcycling)' 기술 역량을 강화하기 위해 이번 특허 등록을 추진했다고 강조했다.
김정웅 서플러스글로벌 대표는 “반도체 장비 업사이클링은 단순히 중고 장비를 다시 사용하는 것이 아니라 장비의 상태를 정확히 진단하고 성능과 활용 가치를 높여 산업 생태계 안에서 다시 쓰이게 하는 과정”이라며 “이번 특허 등록은 서플러스글로벌이 장비 거래 사업과 공정 기술 역량을 함께 강화하는 중요한 계기가 될 것”이라고 말했다.
윤건일 기자 benyun@etnews.com
