세메스는 반도체 검사장비인 차세대 프로브 스테이션(SEMPRO) 양산 5000호기 출하식을 가졌다고 8일 밝혔다. 출하식에는 천안 본사에서 회사 임직원 및 협력사 대표 등 50여명이 참석했다.
프로브 스테이션은 웨이퍼에 형성된 각 반도체(다이) 양품과 불량으로 선별하는 반도체 EDS 공정에서전기적 특성을 검사하기 위해 테스터와 연결되는 자동화 설비다.
세메스 프로브 스테이션은 고대역폭메모리(HBM) 테스트 발열 제어 및 고하중 컨택 정밀도 향상을 기반으로 EDS 공정 효율화에 기여하고 있다. 세메스는 2003년 첫 양산 이래 22년만에 5000호기 출하를 달성했다. 현재 무인 자동화 기능을 도입해 스마트 팩토리형 장비를 생산하고 있다.
최병갑 세메스 팀장은“이번 5000호기 출하는 장비의 품질과 신뢰성을 인정받은 결과”라며 “인공지능(AI) 및 HBM 같은 고성능 반도체 수요증가로 반도체 웨이퍼 테스트 공정의 난도가 높아지는 가운데 HBM 테스트 분야에서도 경쟁사 대비 기술우위를 확보하게 됐다”고 말했다.
이 설비는 2018년 세계 3대 디자인상으로 꼽히는 레드닷 산업디자인 컨셉 부문 최우수상 '베스트 오브 베스트' 상을 받은 바 있다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
