관련 통계자료 다운로드 파크시스템스 2024년 실적 파크시스템스가 원자현미경(AFM) 외 디지털 홀로그래픽 현미경(DHM)과 이미지 분광 타원계측(ISE) 분야로 사업을 다각화해 반도체 종합계측 장비사로 도약하겠다는 비전을 제시했다.
박상일 파크시스템스 대표는 경기 수원시 영통구 본사에서 개최한 기자간담회에서 “지난 1월 스위스 기업 린시테크 인수를 통해 디지털 홀로그래픽 현미경(DHM) 기술을 확보했다”며 “광학 검사 범위를 늘려 계측 분야에서 미국 KLA와 독일 자이스와 같은 글로벌 기업으로 거듭나는 게 목표”라고 밝혔다.
파크시스템스는 박 대표가 지난 1997년 설립한 AFM 전문 기업이다. AFM은 배율이 수천만배인 장비로, 수천배와 수십만배인 광학현미경, 전자현미경보다 미세 구조를 정밀하게 측정할 수 있다는 장점이 있다.
이 때문에 반도체 초미세 공정에서 나노미터(㎚) 단위 결함을 파악할 수 있는 AFM 수요가 급증하는 추세다. 파크시스템스는 그 영향으로 지난해 창사 이래 최대인 매출 1751억원과 영업이익 385억원을 기록했다.
박 대표는 “파크시스템스가 2022년을 기점으로 미국 브루커를 제치고 글로벌 AFM 시장 점유율 1위로 올라섰다”면서 “하지만 2㎚ 이하 초미세공정과 첨단 패키징, 하이브리드 본딩 등 새로운 영역에서 계측 역량을 강화하려면 기술 확장이 필요하다”고 강조했다.
파크시스템스가 린시테크를 인수해 확보한 DHM은 홀로그램으로 물체 형상을 측정, 3차원(3D) 높낮이 정보를 측정할 수 있는 기술이다. 회사는 DHM 기술을 후공정 분야에 적용해 고객사 반도체 수율 확보에 기여하는 한편 DHM과 AFM 결합을 추진, 차세대 시스템도 개발할 계획이다.
파크시스템스는 지난 2022년 독일 아큐리온을 인수해 이미지 분광 타원계측(ISE) 기술로 범위를 넓힌 바 있는데, 다시 사업 영역을 확장했다. ISE는 빛을 확산해 초박막 필름 특성을 평가할 수 있는 계측장비다.
박 대표는 “최첨단 광학 계측장비 라인업을 계속 늘려갈 것”이라며 “현재도 한국·미국·유럽 등 5개 이상 기업과 M&A를 포함한 협업 방안을 논의하고 있다”고 전했다.
파크시스템스는 AFM 등 계측장비의 활용 폭이 반도체 후공정 분야에서 넓어질 것이라고 전망했다. 전공정은 AFM 도입 이전부터 사용한 계측기가 있지만, 후공정은 새롭게 열리고 있는 시장이기 때문이다.
반도체 초미세화로 집적도가 2년마다 2배 증가한다는 '무어의 법칙'이 한계에 봉착하면서 성능 개선 대안으로 후공정 고도화가 급부상했고, 이 과정에서 패키징 계측 장비 중요성도 높아지고 있다는 설명이다. 파크시스템스는 최근 글로벌 파운드리 기업으로부터 후공정용 AFM 장비도 수주했다.
박 대표는 “기존 강자가 없는 후공정 계측 분야는 블루오션”이라며 “본사를 수원에서 내년에 과천 신사옥으로 이전하면 장비 연구개발(R&D)과 생산 역량을 확대, 후공정 계측 시장을 본격 공략할 수 있을 것”이라고 말했다.
이호길 기자 eagles@etnews.com
