SK하이닉스는 국내 반도체용 특수가스 기업 티이엠씨(TEMC)와 네온(Ne) 가스 재활용 기술을 개발했다고 1일 밝혔다.
회사는 기술 개발에 나선 지 1년여 만에 거둔 성과라며, 노광공정 이후에 스크러버로 공기 중으로 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집하고, TEMC 가스 처리 과정을 통해 네온만 선택적으로 분리해 정제했다고 설명했다. 정제한 네온은 다시 SK하이닉스로 공급돼 반도체 제조 공정에 사용한다.
네온은 희귀 가스 중 하나로 반도체 노광공정에 필수적인 엑시머 레이저 가스의 주요 성분이다. 레이저 광원으로 활용할 때 화학적으로 분해되거나 변형되지 않아 한 번 사용한 네온은 불순물 제거 등의 분리 및 정제만 거치면 재활용을 할 수 있다.
현재 네온 회수율은 72.7%로 SK하이닉스는 정제 수율을 추가 개선을 통해 77%까지 높일 계획이라고 밝혔다. SK하이닉스는 네온 재활용 기술을 반도체 팹에 적용하면 연간 400억원 상당의 네온 구매 비용이 줄어들 것으로 예상했다. 또 네온 생산 과정에서의 온실가스 배출량(Scope 3)을 1만 2000tCO2e/yr가량 줄이는 효과를 기대했다.
앞서 SK하이닉스는 지난 2월 '재활용 소재 사용 중장기 로드맵'을 발표하고, 2025년까지 재활용 소재 비율 25%, 2030년까지 30% 이상으로 늘리겠다는 목표를 밝힌 바 있다. 2030년까지는 화학적 변형이 없는 모든 소재에 대한 재활용 기술 검토를 완료할 계획이다.
박진형 기자 jin@etnews.com
