과학 과학 [전자캘린더]3월22일~26일 발행일 : 2021-03-21 14:49 업데이트 : 2021-03-21 14:49 지면 : 2021-03-22 2면 전자신문을 선호 매체로 추가 공유하기 글자크기 설정 가 작게 가 보통 가 크게 이형두기자 dudu@etnews.com 이형두 기자기사 더보기 [세미콘 웨스트 2026]브룩스, 반도체 공장 밀도 높이는 클린룸 로봇 공개