국내 반도체 산업이 발전하려면 소자와 장비뿐 아니라 부품·소재 경쟁력이 뒷받침돼야 한다. 고온·진공 상태에서 이뤄지는 반도체 공정 특성상 특수부품이 필요하다. 공정마다 들어가는 핵심 소재도 반도체 산업 경쟁력과 직결된다. 스마트공장 제조혁신 부상으로 로봇·자동화도 중요해졌다.
아직까지 반도체 관련 뿌리 시장은 일본, 미국, 유럽 등 기업 비중이 크다. 그러나 국내 기업 기술력과 노하우가 쌓이면서 수출까지 확대되고 있다. 우리 반도체 산업이 경쟁력을 더하기 위해서는 뿌리산업 발전과 함께 혁신 기술이 끊임없이 나오도록 창업 생태계도 조성해야 한다.
반도체대전(SEDEX) 2018에서는 반도체 생태계를 지탱하는 뿌리 산업에서 글로벌 기업에 도전하는 국내 대표기업들이 제품을 선보인다. 반도체 벤처·스타트업 투자 기회도 제공한다.
◇고온·진공 부품부터 로봇·공정 자동화까지 '한눈에'
코미코·미코는 식각·증착 제조장비 핵심 부품인 세라믹 정전척(ESC), 세라믹 히터 등을 국산화했다. 정전척은 반도체 가공 시 정전기로 기판을 고정하고, 세라믹 히터는 화학기상증착장비(PECVD) 챔버 내 온도를 조절한다.
반도체 제조 환경을 만들어주는 진공부품 기업은 올해 진공관을 구성해 나온다. 에스더블유베큠은 소결로, 진공로, 금속로를 공개한다. 한국알박은 진공기술 분야 전문기업으로 진공솔루션, 진공펌프 등 다양한 반도체 장비·부품을 공급하고 있다.
올해는 반도체 설비·공정 자동화가 빠르게 확산됨에 따라 모션컨트롤 특별관도 마련했다. 에스피지는 정밀감속기, 국제산업기계는 직교로봇·스텝모터, 발루프코리아는 비전 소프트웨어(SW)를 선보이는 등 로봇, 부품, SW까지 총출동한다. 하이윈도 볼스크류, 가이드웨이, 단축로봇, 서브모터, 산업용 로봇 등을 선보인다.
◇웨이퍼·감광재·CMP슬러리 등 핵심소재 전시…스타트업 IR 마련
반도체 소재는 반도체 제품 다양화·미세화에 따라 중요성이 더욱 강조되는 산업이다. 주로 일본기업이 시장을 석권하고 있지만, 국내 기업이 국산화 비중을 늘리며 추격하고 있다.
SK실트론은 12인치(300㎜) 웨이퍼를 전시한다. 웨이퍼는 반도체 재료가 되며 소재산업 중 가장 규모가 크다. 주로 일본, 미국 기업이 장악하고 있지만 이 회사가 국산화에 성공했다. 글로벌 톱 반도체 기업에 공급을 늘리며 세계시장 5위(점유율 10%)에 올랐다. 국내 점유율은 40% 정도다.
동진쎄미켐은 감광재(Photo Resist)를 생산하고 있다. 반도체 제조과정에서 웨이퍼에 빛을 쬐어 미세회로를 그릴 때 사용된다. 제품 미세화에 따라 더 높은 품질이 요구되고, 3D 낸드 적층단수 증가에 따라 사용이 증가하고 있다.
케이씨텍과 동진쎄미켐은 CMP슬러리도 생산하고 있다. 반도체 공정 중간에 웨이퍼를 평탄화해주는 화학적기계적연마(CMP) 작업에 쓰이는 윤활제다.
반도체 벤처·스타트업을 위한 공동 홍보관 '스타트업 쇼케이스' 전시 부스도 마련됐다. 맵스(무선전력충전IC), 아이칩(안구센서칩), 텝스(비메모리 검사장치), 시솔(NFC 리더) 등 반도체 분야 유망 스타트업 9개사가 자사 신기술과 제품을 선보인다. 전시 이튿날인 25일에는 코마테크놀로지, 코스텍시스템, 엠텍비젼 등 반도체 중기·벤처·스타트업 10개사가 참여, 투자유치를 위한 반도체 IR 콘퍼런스를 개최한다. 반도체성장펀드 운용사를 비롯한 벤처캐피털(VC) 등 투자자 50여명이 참여기업과 교류·상담한다.
오대석기자 ods@etnews.com
