한국과학기술연구원(KIST·원장 이병권)은 8일 서울 화랑로 KIST에서 뉴파워프라즈마(대표 위순임)와 '플라즈마 전해 양극산화 코팅 기술' 이전 및 사업화 협력 조인식을 개최했다.
기술 이전에 따른 총 기술료는 10억원이다. 도정만 KIST 박사팀이 개발한 플라즈마 전해 양극산화(PEO) 코팅 기술은 알루미늄 합금 표면에 경질 코팅층을 생성하는 원천기술이다.
치밀하고 밀착성이 높은 알루미나(Al₂O₃) 코팅층을 생성해 내식, 내마모, 내침식성을 부여한다. 반도체, 디스플레이, 항공 우주, 수송기기, 국방 등 첨단 분야에 응용이 기대된다.
자체 개발한 전원공급장치, 전해액, 공정기술, 플라즈마 아크 제어 기술을 이용한다. 코팅층 두께는 50~100㎛, 표면 조도는 1㎛, 경도는 1500~1100Hv다. 친환경 알칼리 전해액을 사용한다.
뉴파워프라즈마는 이를 차세대 반도체·디스플레이용 원격 세정기 원천 기술로 활용할 계획이다. 플라즈마 원격 세정기 시장은 올해 5000억원 규모로 성장할 전망이다.
이병권 KIST 원장은 “기술 이전으로 플라즈마 코팅 기술 상용화를 앞당기고, 국내 반도체·디스플레이 산업 경쟁력을 공고히 할 수 있을 것”이라고 기대했다.
위순임 뉴파워프라즈마 대표는 “획기적인 기술을 이전받아 국내 반도체·디스플레이 장비 시장 선두주자가 되기 위해 노력할 것”이라면서 “글로벌 시장 진출에도 앞장설 것”이라고 강조했다.
송준영기자 songjy@etnews.com
