제니스월드(대표 곽병헌)와 한국세라믹기술원(원장 강석중) 김형준 책임연구원팀이 세계 최초로 디스플레이 공정용 내플라즈마 유리를 개발, 상용화하는데 성공했다.
`내플라즈마 유리`는 플라즈마 가스에 대한 내구성이 높아 디스플레이 배선 형성에 사용하는 소재다.
디스플레이 제조 공정에는 막대 모양의 대형 세라믹 부재가 필요하다. 이 세라믹 부재는 파티클(셀의 불량을 유발하는 아주 작은 입자)과 가스발생 등으로 전체 공정 및 대기시간을 늘려 생산성 저하를 초래했다.
공동연구팀은 대형 세라믹 부재에 내플라즈마 유리 코팅과 열처리를 적용해 파티클 형성을 억제하고 가스발생도 줄여 부재의 내구성을 높였다.
내플라즈마 유리를 코팅한 세라믹 부재를 디스플레이 공정에 적용한 결과, 파티클 발생은 35% 이상 줄었고, 내플라즈마 특성은 40% 이상 개선돼 전체 디스플레이 생산성이 크게 높아졌다.
세계적으로 내플라즈마 유리를 코팅한 대형 세라믹 부재를 디스플레이 공정에 상용화한 사례는 전무하다. 반도체 공정으로 확대 적용도 기대할 수 있다.
현재 반도체〃디스플레이 공정용 대형 세라믹 분야 세계 시장 규모는 약 4조원이다. 재생 시장 규모만도 8200억 원에 달하는 것으로 추정된다.
최근에는 중국 반도체〃디스플레이산업이 고속 성장하면서 전체 시장 확대도 예상되고 있다.
김형준 책임연구원은 “반도체 공정용 부재로는 주로 내화학성과 열적, 기계적 물성이 우수한 석영유리를 주로 사용하는데 이번에 개발한 내플라즈마 유리는 석영유리에 비해 판재 또는 튜브 형상으로 제조가 용이하다”면서 “추가 연구를 통해 석영유리를 대체할 수 기술력을 확보하겠다”고 말했다.
진주=임동식기자 dslim@etnews.com
