국내 최대 반도체 디스플레이 장비 업체 세메스는 30일 천안 본사에서 한국반도체디스플레이기술학회가 주관하는 `2016 세메스 산업체 기술포럼`을 개최한다고 29일 밝혔다.
이 포럼은 올해로 3회째 열린다. 국내 반도체 디스플레이 장비산업 육성을 위해 기획됐다. 기술동향과 연구개발 등을 주제로 강연이 진행된다.
올해는 반도체 세정기술 동향(한양대 박진구 교수), 차세대 극자외선(EUV) 리소그래피 공정 기술(한양대 안진호 교수), 플라즈마 진단기술(성균관대 채희엽 교수), 10나노 식각기술(성균관대 염근영 교수), 반도체 공정용 플라즈마 소스기술 동향(한양대 정진욱 교수) 발표가 준비됐다. 이외에도 후공정 패키지 웨이퍼 본딩기술(서울과기대 김성동 교수)과 반도체 패키지 실리콘관통전극(TSV) 기술(강남대 김구성 교수)의 소개와 해법이 발표될 전망이다.
김용식 세메스 대표는 “지난해 매출 1조원 돌파를 계기로 글로벌 기업으로 도약하고자 한다”며 “산학협력을 통한 연구개발 활동을 더욱 강화해 나갈 것”이라고 말했다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com
