참엔지니어링-램리서치, 합작 발표…부품 국산화도 본격화

　국내 반도체 장비업체인 참엔지니어링은 세계적인 반도체 장비업체인 램리서치와 조인트벤처에 대한 양해각서를 교환했다고 15일 밝혔다.<본지 3월10일자 10면 참조>

　신규 합작법인은 우선 참엔지니어링이 생산해온 베벨에처를 제조하는 데 집중하고 향후 램리서치의 부분품, 모듈, 어셈블리를 거쳐 에처 시스템까지 생산을 확대할 계획이다.

　베벨에처는 웨이퍼 가장자리 부분을 식각 및 세정하는 장비로 에처장비가 주로 중앙부위 중심으로 식각을 하면서 가장자리에 놓여지는 미세한 입자를 제거하는 장비다. 합작법인 설립이전에는 참엔지니어링이 생산과 국내영업을, 램리서치가 해외 영업을 담당했으나 이번 합작법인 설립을 통해 생산부터 영업까지 공조하게 됐다.

　신규 합작법인은 경기도 오산에 본사를 두고 약 8400 ㎡ 규모의 부지에 생산기지를 마련한다. 올해 말까지 100명의 직원이 이곳에서 근무할 것으로 예상된다.

　특히 램리서치로부터 부품을 받아 단순 조립하는 것이 아니라 부품 개발을 통해 최대한 국산화하겠다는 계획이어서 국내 반도체 장비 및 핵심 부품 기술 향상에도 큰 도움이 될 것으로 기대된다.

　 한국 램리서치의 서인학 사장은 “이번 투자는 국내 현지화 노력을 더욱 늘려 나가고자 하는 램리서치의 의지를 입증하는 사례”라며 “참엔지니어링은 램리서치가 신뢰하는 공급업체이며, 참엔지니어링의 생산 전문성과 한국 고객의 요구에 대한 이해 덕분에 서비스, 납기 기간 및 고객별 맞춤형 장비생산능력을 더욱 향상시켜 나갈 수 있을 것으로 확신한다”고 밝혔다.

　 양사는 90일 이내에 최종 계약을 타결할 예정이다.

유형준기자 hjyoo@etnews.co.kr