LED 에피 전문업체인 갤럭시아포토닉스는 식물공장용 적색 LED 개발을 추진해 왔으나 칩 제조 기술이 부족해 어려움을 겪어왔다. 하지만 이 회사는 최근 나노소자특화팹센터의 MOCVD 장비를 활용하면서 약 4개월 동안 적색 LED용 에피성장 기술과 LED칩 제조기술을 집중적으로 지원받은 덕택에 짧은 기간에 세계 수준에 버금가는 660nm의 적색 LED 칩을 개발하는 데 성공했다.
안양에 위치한 광부품 소재 기업인 엘엠에스는 지난 2008년부터 센터의 팹장비를 활용하고 있다. 이 회사는 시제품 제작은 물론이고 양산까지도 센터 장비를 활용, 연간 40억원 규모의 매출을 올리고 있다. 하지만 이를 위해 지불하는 장비사용료는 연간 9400만원에 불과하다.
나노소자특화팹센터의 팹장비를 활용해 신기술을 개발하거나, 사업화에 성공한 기업들도 속출하고 있다. 이들 기업은 고가장비를 구매하지 않고도 센터의 장비를 활용하고, 다양한 경험과 노하우를 지닌 전문인력의 지원을 받아 신기술개발은 물론 제품 생산을 통한 매출 증대 효과도 누리고 있다.
◇세계 최고 성능의 장비 다수 보유=나노소자특화팹센터의 패턴공정실은 최소 선폭 7nm까지 구현할 수 있는 전자빔리소그래피와 국내에서는 유일하게 2인치에서 8인치까지의 기판에 대응할 수 있는 KrF 스테퍼와 나노임프린터 등 나노소자 제작에 필수적인 장비를 다수 보유하고 있다. 또 박막공정실에서는 나노공정기술에 필요한 △박막공정 △식각공정 △후공정 등에 대한 단위공정 및 일괄공정 서비스를 제공한다. 사용자의 요청에 따라서는 장비를 직접 사용할 수도 있다. 특성평가실에는 국내에서 두 번째로 개별 원자의 종류까지 알 수 있는 최첨단 장비인 분석주사투과전자현미경이 있다.
◇산학연 고루 활용=올해 센터의 팹장비를 활용한 곳은 산업계가 74.78%로 가장 많았고, 학계와 연구계가 25.22%를 사용했다. 지역별로는 경기도 소재 기관이 73%를 사용했고, 타 시도에서도 이용한 비율도 27%에 달했다.
12월 현재 팹공정 및 분석지원 등을 통한 중소기업 매출 기여액은 약 200억원에 이르는 것으로 분석됐다. 이 가운데 87%는 경기도 소재 중소기업들이 거둔 효과였다.
경기도 평택에 위치한 GE센싱코리아의 김태윤 사장은 “센터의 팹장비를 활용함으로써 연간 약 10억원에 이르는 수입대체 효과를 볼 수 있었다”며 “앞으로도 6인치 MEMS 제조 기술과 세라믹 패키지 기술 등을 활용하는 데 센터의 팹장비를 적극 활용할 계획”이라고 말했다.
◇인재양성에도 한몫=센터는 첨단 연구장비와 시설을 활용해 나노기술 전 과정에 걸쳐 나노기술 전문인력 양성에도 나서고 있다. 지난 3월 나노기술개발촉진법에 따라 교육과학기술부의 나노기술 전문인력양성센터로 지정된 이후 일곱 차례에 걸쳐 화합물계 나노공정 및 LED와 태양전지 교육 등을 실시, 올 한해 동안 115명의 나노기술 인력을 배출했다. 센터는 그동안 구축한 시설과 장비 등을 활용해 연간 100여명의 인력을 양성, 오는 2014년까지 약 660명의 나노기술 전문인력을 키워낼 계획이다.
또 차세대 LED 현장인력 재교육과 직장인 재교육에도 박차를 가하고 있다. 화합물반도체 일괄공정교육 및 아주대·단국대·부산대 등과의 학점인정 현장실습 교육 등 이론과 실습을 겸비한 현장실무형 교육사업을 통해 나노산업 구조변화에 능동적으로 대응하고 산업체 현장에 필요한 나노기술 전문인력을 지속적으로 배출할 예정이다.
수원=김순기기자 soonkkim@etnews.co.kr
