대만 D램 업체들이 핵심 공정 장비를 제때 공급받지 못해 미세 공정 전환에 차질을 빚고 있다. 하반기 D램 시장 수급 상황에도 변수가 될 수 있다는 관측이다.
9일 디지타임스 등 현지 외신에 따르면 대만 D램업체들은 최근 네델란드 ASML사의 이머전 노광장비 납기가 지연되면서 38나노이하 미세 공정 전환에 어려움을 겪고 있다. ASML사가 공급할 장비는 `NXT 1950i`로, 12인치 웨이퍼용 32나노이하 미세 공정에 필수적으로 들어가는 핵심 제품이다. 대만 D램 업체들은 이 장비가 공급되려면 향후 1년을 더 기다려야 하는 것으로 알려졌다.
이처럼 ASML의 최신 노광장비가 공급난을 빚고 있는 것은 세계 1위 D램 업체인 삼성전자와 1위 파운드리 업체인 대만 TSMC, 낸드 플래시 선두권 업체인 일본 도시바 등이 이미 주문을 선점했기 때문이다.
대만 D램 업계에서는 ASML사의 장비 수급난이 하반기 전 세계 D램 시황에도 영향을 줄 것이라는 시각이다.
서한기자 hseo@etnews.co.kr
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