마이크론 등 3사, IMEC와 질화갈륨 LED 기판 개발

D램 반도체 업체인 미국 마이크론테크놀러지와 세계 1위 장비 업체인 어플라이드머티리얼즈가 차세대 발광다이오드(LED) 웨이퍼 기술 개발에 나섰다.

마이크론과 어플라이드, 울트라텍 등 3사는 유럽 첨단 기술 연구소인 IMEC이 추진중인 LED용 ‘질화갈륨온실리콘’ 웨이퍼 연구개발(R&D) 사업에 참여하기로 했다고 14일(현지시각) 밝혔다.

이 R&D 프로젝트는 고효율 LED 조명 및 전자부품용 칩을 만들기 위해 실리콘 절연막층에 질화갈륨층을 형성하는 제조 공정과 장비 기술을 개발하는 것이 목표다. 특히 현존하는 공정 가운데 최대 면적인 200㎜(8인치) 웨이퍼를 개발한다는 계획이다.

질화갈륨은 광학 부품 및 차세대 전력부품의 핵심 소재로, 실리콘에 비해 전압 강하 및 전류 전송량에서 탁월하다. 대면적 200㎜ 웨이퍼로 구현할 경우 생산성을 크게 높일 수 있다는 점에서 주목된다. IMEC은 전통적인 CMOS 센서 공정 장비와 호환할 수 있도록 어플라이드의 장비를 활용한다는 계획이다.

IMEC측은 “미국의 주요 3개 반도체 회사들이 참여함으로써 차세대 LED 공정 기술 개발에 속도가 더 붙을 것”이라며 “조만간 더 많은 회사들이 동참할 것”으로 기대했다.

서한기자 hseo@etnews.co.kr