한 중소기업이 대면적 웨이퍼 생산에 유리한 ‘키로풀로스’ 공법을 발광다이오드(LED)용 사파이어 잉곳 양산에 적용하는 데 성공했다. 키로풀로스 기술은 LED용 웨이퍼 면적 경쟁이 본격화되면서 각광받고 있지만 기존 ‘VHGF’ 방식보다 공정이 까다로워 국내서는 양산에 적용하지 못했다.
잉곳 전문업체 아즈텍(대표 김기호)은 경기도 안성 공장에 32㎏급 사파이어 잉곳 성장장비(그로어) 2기를 설치하고 양산에 들어간다고 4일 밝혔다. 잉곳은 사파이어를 한 데 뭉친 덩어리로, 이를 얇게 자르면 웨이퍼가 된다. 32㎏급 잉곳 성장장비는 한 달에 900㎜ 높이의 사파이어 잉곳 3개를 생산할 수 있다. 2인치 웨이퍼 기준으로는 성장장비 1대당 월 3300장 정도를 제조할 수 있는 양이다. 이 회사는 러시아의 잉곳 전문업체로부터 10년간 양산기술 및 장비 제조 기술을 이전받기로 계약을 체결했다. 이번에 설치한 성장장비 2대 중 1대도 전수받은 기술을 이용해 자체 생산했다. 향후 증설 투자 때는 모든 장비를 자체 제작해 잉곳 완제품 가격 경쟁력을 높인다는 전략이다.
특히 이 회사가 채택한 기술은 6인치 이상 대면적 웨이퍼 생산에 유리한 ‘키로풀로스’ 공법으로, 국내서는 처음으로 양산 적용에 성공했다. 전 세계 사파이어 잉곳 생산량 1·2위 업체인 러시아 모노크리스탈·미국 루비콘 등이 쓰는 기술이다. 아즈텍은 오는 2분기 성장장비 20대를 추가로 설치하는 한편, 연말에는 총 100대 규모까지 늘릴 계획이다.
이강현 아즈텍 전무는 “최근 LED 시장 규모가 커지면서 원자재인 사파이어 잉곳 공급 부족 현상까지 빚어지고 있다”며 “오는 2013년 월 32만㎜ 규모로 잉곳 생산량을 늘릴 것”이라고 말했다.
한편, LED용 사파이어 잉곳 시장은 러시아 모노크리스탈·미국 루비콘이 각각 월 40만㎜와 30만㎜씩 생산해 전 세계 시장의 43%를 점유하고 있다. 최근 시장 수요가 늘어남에 따라 지난해 2분기 대비 가격이 20∼30% 정도 급등했다.
안석현기자 ahngija@etnews.co.kr
