국내 첫 8인치 웨이퍼 양산 MEMS 일관공정 구축

　전자·기계 소자를 반도체 기술을 이용해 머리카락보다 작은 크기로 제작하는 기술로 전자·기계의 소형화·고집적화에 필수적인 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems·초소형 미세공정 시스템) 분야에서 우리나라도 8인치 일관공정을 구축했다.

　아시아 다섯 번째, 세계 열 번째인 이번 8인치 웨이퍼 MEMS 공정은 우리나라가 전자·기계 소자 강국으로 도약하기 위해 꼭 갖춰야 하는 시설이다.

　17일 정보통신산업진흥원 부설 RFID/USN센터(RUC·센터장 신상철)는 약 687원을 투입해 국내 유일의 MEMS 8인치 웨이퍼 양산 시설 구축을 완료했다고 밝혔다. 센터는 이번 MEMS 팹 일관 공정 구축을 위해 지난해부터 올해까지 687억원을 투입해 △실리콘 건식식각 장비 △웨이퍼 접합 장비 (Wafer Bonder) △전기도금 장비(Electroplating) 같은 주요 MEMS 장비 101를 도입했다. 이로써 센터는 포토부터 식각·접합·확산·박막·측정·분석 등 MEMS 양산을 위한 주요 공정을 하나로 구비한 일관 공정 체제를 갖추게 됐다.

　특히 세계 MEMS 시장이 6인치에서 8인치로 넘어가는 변환기에 있는 가운데 8인치 웨이퍼를 양산할 수 있는 MEMS 일관 공정을 갖춰 더 주목받고 있다. 통상 8인치 웨이퍼는 6인치 웨이퍼보다 면적이 약 두 배 정도 커 그만큼 생산성과 수율이 높아져 가격경쟁력을 끌어올릴 수 있다. 신상철 센터장은 “반도체 산업이 메모리, 비메모리 및 LED를 거쳐 MEMS 산업으로 이어질 것으로 전망될 만큼 세계적으로 MEMS 산업이 부상하고 있다”면서 “이번 센터의 MEMS 팹 장비 구축 완료에 따라 관련 국내 MEMS 산업 발전은 물론 기업의 경쟁력 제고에도 일조할 것”이라고 밝혔다.

　인천=방은주기자 ejbang@etnews.co.kr