반도체·LCD용 진공펌프 전문업체 엘오티베큠(대표 오홍식)은 최근 ‘차세대 건식 진공펌프(제품명: EcoSL 시리즈)’ 개발을 완료하고 이달부터 양산에 들어간다고 2일 밝혔다. 이번에 출시한 제품군은 지난 5년간의 연구개발을 통해 양산성을 확보한 HD120, HD600, HD1200 3개 모델이다. 친환경·저전력 추세에 맞게 종전보다 20% 이상 펌핑 성능을 올리면서 소비전력은 50% 이상 크게 절감했다.
특히 엘오티베큠은 정부 ‘성장동력기술개발사업’의 일환으로 이번 차세대 건식 진공펌프를 개발하는데 성공, 반도체기술대상 과기부총리상을 수상하기도 했다.
회사 측은 내년 상반기까지 차세대 건식 진공펌프 두 개 모델을 추가 양산함으로써 반도체·LCD·태양전지·발광다이오드(LED) 등 주요 소자 산업군 전반으로 공급을 확대해 나갈 예정이다.
서한기자 hseo@etnews.co.kr
