장비재료 성능평가협력사업, 30개 품목 인증서 이달 말 발급

　한국반도체산업협회(회장 권오현)는 현재 성능 평가 품목 중 일부 품목의 기초·양산 성능 평가가 완료됨에 따라 원자현미경 등 기초 10개 품목과 프로브 카드 등 양산 20개(복수평가 1개 포함) 품목 등 총 30개 품목에 대해 장비·재료 성능평가협력사업 인증서를 이달 말 발급한다고 26일 밝혔다.

반도체 소자 업체와 장비·재료업체 간 상생 협력 일환으로 정부가 2007년 2월부터 주도해온 성능평가협력사업은 반도체 양산 라인에 장비와 재료 등을 직접 투입, 양산에 적용 가능한 지에 대한 성능 여부를 반도체 소자 기업이 직접 확인해주는 것이다.

삼성전자 팹에서 기초성능 평가 4개·양산 성능 평가 6개 △하이닉스 팹 기초성능평가 4개·양산성능 평가 12개 △동부하이텍 팹 기초성능 평가 2개·양산성능평가 1개 등 총 30개의 품목이 평가 심사를 통과, 인증서를 받는다.

특히 삼성·하이닉스·동부 등 소자 기업들은 성능 평가 심사를 통과한 품목를 대상으로 올 한 해 약 1100억원 어치의 국산 장비·재료를 구매, 현장 라인에 각각 사용할 계획이다.

또, 이번에 인증서가 발급되면 성능 평가협력 사업에서 기초 및 양산 성능 평가를 마친 품목은 59개 △평가 진행 품목 19개 △평가 탈락 품목 15개이다. 특히 하이닉스가 31개 품목 성능 평가를 마치고 9개 품목 평가를 진행, 삼성·동부에 비해 상대적으로 성능평가 협력 사업 참여 의지가 높다. 삼성은 평가완료 23개 품목·평가 진행 2개 품목, 동부는 평가완료 5개 품목·평가 진행 2개 품목이다.

한국반도체협회 관계자는 “성능평가협력사업을 통해 평가된 장비·재료는 삼성·하이닉스·동부 등이 구매해 생산라인에 적용한다”며 “그동안 성능 평가협력 사업를 통한 소자 기업의 장비·재료 구매 누계 실적이 약 2800억원에 달했다”고 말했다. 그는 또, “이번 평가를 마친 장비·재료 기업을 대상으로 한 인증서 수여식은 올해 반도체 경기 침체 및 경영악화로 생략한다”고 덧붙였다.

안수민기자 smahn@etnews.co.kr