MEMS 가속도센서 양산 `잰걸음`

　 세계적으로 고부가사업인 MEMS(MicroElectroMechanical System·마이크로전자기계시스템) 가속도 센서 양산화의 전기가 마련됐다.

서울대 벤처기업인 SML전자(대표 조동일)는 한국전자거래진흥원 부설 RFID/USN센터(센터장 신상철·RUC)와 8인치 기반 MEMS 가속도 센서 양산에 관한 파트너십을 체결했다고 30일 밝혔다.

MEMS는 정부가 선정한 신성장동력중 하나인 무선인식(RFID)/유비쿼터스센서네트워크(USN) 활성화의 핵심기술이고, 가속도 센서는 물체의 가속도를 감지하는 센서로 휴대폰·디지털카메라 등에 사용되고 있다. 이번 협약으로 국내에도 하반기부터 MEMS 팹(FAB)에서 양산된 가속도 센서가 처음 선보일 전망이다.

특히 이 가속도 센서는 세계적으로 드문 8인치 MEMS 팹에서 생산될 예정이어서 더욱 주목된다. 최근까지 국내에는 MEMS 가속도 센서를 양산할 수 있는 곳이 전무했는데 지난해말 RFID/USN센터가 송도에 MEMS 팹을 구축, 양산시설을 갖춘 바 있다. 이번 협력에 따라 SML전자는 MEMS 가속도 센서의 안정적인 위탁생산처를 확보하게 됐고, RFID/USN센터는 SML전자의 양산공정 기술을 활용, 본격적인 양산 시대를 열게 됐다.

신상철 RUC 센터장은 “MEMS 팹이 제대로 자리잡으면 휴대폰 하나만 쳐도 약 연간 3천만달러의 수입 대체 효과가 예상된다”면서 “내년까지 8인치 웨이퍼 9000장을 생산 할 수 있는 능력을 갖출 예정”이라고 말했다.

인천=방은주기자, ejbang@etnews.co.kr