반도체 웨이퍼나 디스플레이 연구시 박막 코팅을 할 수 있는 장비인 초정밀 스핀코터가 국내 중소기업에 의해 개발됐다. 회전을 하면서 시료 등 화학물질이 균일하게 코팅되게 뿌려주는 이 장비는 국내만 연간 500억원가량의 시장을 형성하고 있다. 다른 장비와 마찬가지로 미국·일본에서 주로 수입에 의존하고 있어 국산제품으로 대체효과가 기대된다.
반도체·LCD용 연구장비 제조회사인 동아무역(대표 이현재 www.spincoater.net)은 그래픽과 수치로 코팅과정을 확인할 수 있는 초정밀 스핀코터 ‘모델명 ACE-200’를 출시했다고 9일 밝혔다. 이 장비는 정확도가 1RPM(분당 회전속도) 수준이며, 외산 장비에 비해 가격이 3분의 1수준에 불과해 국내 기업·연구소·대학에서 문의가 쇄도하고 있다고 회사 측은 설명했다. 또한, 인쇄회로기판(PCB) 보드 하나로 동작을 제어하기 때문에 문제가 발생해도 수리가 간단, 외산장비들이 문제가 생기면 수개월간 연구를 중단해야하는 폐단을 없앴다고 강조했다.
이현재 동아무역 사장은 “스핀코팅 과정을 모니터링하면서 최적의 데이터를 얻을 수 있다”면서 “국내는 물론이고 미국, 일본, 중국 등에 수출을 적극 추진, 2년안에 연 500억원 이상의 매출을 달성하겠다”고 말했다. 회사 측은 이미 해외 15개국의 대리점과 사업협력을 하면서 성과들이 나오고 있다고 덧붙였다.
동아무역 측은 스핀코터 외에도 현상기, 박리기, 스핀클리너 등 반도체·디스플레이용 연구장비를 지속적으로 개발, 외산의존도가 높은 기자재를 국산화할 것이라고 강조했다.
설성인기자 siseol@etnews.co.kr
