[디스플레이] 공정별 장비설명

　◆공정별 LCD 장비=TFT LCD 제조단계는 크게 TFT 어레이·컬러필터·셀·모듈 공정으로 나뉜다. 공정에 따라 사용하는 장비가 천차만별이다. 기술집약도가 높은 고가 장비들은 전공정에 속하는 TFT 어레이·컬러필터·셀 공정에 몰려 있다. 특히 기판 유리에 각종 금속물·절연체를 입힐 때 쓰이는 ‘증착기’와 자외선을 이용, 패턴을 그리는 ‘노광장비’가 TFT 어레이 공정에 사용된다. 증착기는 상당 부분 국산화가 돼 있다. 노광기는 100% 해외로부터 수입한다. 이 밖에 노광·현상이 끝난 기판 위에 쓸모없는 증착물을 제거하는 ‘식각장비’도 주요 장비 중 하나다.

　전공정 마지막인 셀 공정은 TFT 어레이·컬러필터 공정에서 만들어진 두 장의 유리를 합착하는 과정이다. 우선 두 장의 유리를 ‘세정장비’를 이용, 표면에 붙은 이물을 제거한다. 세정 후에는 ‘실(Seal) 디스펜서’ 등으로 두 유리판을 붙인다. 합착이 완료된 뒤, 필요에 따라 기판을 적당한 크기로 자른다. 이때, 절단면을 부드럽게 다듬어 주기 위해 ‘그라인더’가 쓰인다. 절단된 셀 사이에 ‘LC디스펜서장비’로 액정을 주입한다. 이후 최종검사를 마치면 전공정이 마무리된다.