자기부상 기술로 반도체 만든다

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  선로 위를 떠서 달리는 자기부상열차의 원리가 조만간 반도체 및 LCD 제조공정에 적용될 전망이다.

한국전기연구원(원장 박동욱 www.keri.re.kr) 산업전기연구단 김종문 박사는 최근 반도체 및 LCD 공정에서 여러 층의 공간에 화물을 이송할 수 있는 ‘자기부상 방식을 이용한 클린룸용 화물 승강기(자기부상 방식 클린 리프트)의 수직 안내 기술’을 개발, 반도체 및 LCD 장비업체인 에스에프에이에 기술 이전했다고 10일 밝혔다.

자기부상 방식의 클린 리프트는 명칭 그대로 자기부상 기술을 이용한 리프트다. 기존 가이드 레일에 붙어 움직이는 접촉식 리프트와 달리 품질 향상, 공조운용비 감소 및 생산량 확대를 꾀할 수 있다.

반도체 및 LCD 공정에서 주로 사용해 온 접촉식 리프트의 경우 소음과 진동, 분진 등의 문제와 더불어 이송속도의 한계 때문에 생산효율 개선에 어려움이 많았다.

김 박사가 개발·이전한 것은 바로 자기부상 방식 클린 리프트의 제작 및 구동에 필요한 안내 마그네트와 안내 제어시스템 등 핵심 요소기술이다. 반도체 및 LCD 공정에 적용할 경우 소음, 진동, 분진의 대폭 감소는 물론 이송 속도도 분당 80m에서 180m 수준으로 대폭 개선된다.

기술을 이전받은 에스에프에이는 내년부터 국내 대기업에 공급해 연간 60∼80억원의 매출 증가 효과를 거둘 것으로 기대하고 있다.

김종문 박사는 “전기연구원은 자기부상방식의 기반기술 특허를 비롯해 고출력 및 고청정 전동력 응용시스템 분야에서 세계적인 기술력을 보유하고 있다”며 “자기부상방식을 이용한 완전 비접촉 이송장치 등 추가 기술 개발을 통해 국내 첨단 전기전자 제조공정 혁신에 기여할 것”이라 말했다.

창원=임동식기자 dslim@


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