광주과학기술원(GIST·원장 선우중호) 기전공학과 박기환 교수팀(센서·엑츄에이터 연구실)은 기존 장비에 비해 방진효과가 크게 향상된 ‘6축 능동 방진 테이블’을 국내 처음으로 제품화하는 데 성공했다고 8일 밝혔다.
능동방진 테이블은 속도 센서 및 진동을 제어하는 작동기를 사용해 바닥이나 측면에서 들어오는 상하, 좌우의 진동신호를 제어함으로써 테이블 위에 있는 장비에 진동이 전달되지 않게 하는 장치이다.
나노 계측 장치와 수십 나노미터의 선폭을 만드는 반도체 제조에서 필수적인 장비로 점차 산업계로 사용이 확산되는 추세다.
박 교수팀은 이러한 능동 방진 테이블에 가속도 센서 대신 낮은 주파수 대역에서도 민감한 센서 및 전자석 작동기를 장착했다. 상하, 좌우, 전후 등 모든 방향에서 오는 진동을 6개의 축에서 감지하고 제어함으로써 기존 제품에 비해 방진효과를 30% 이상 높였다. 박 교수팀은 내달부터 실험실 벤처기업인 엠포시스(www.em4sys.com)를 통해 상품화할 계획이다.
박 교수는 “기존 제품은 고주파수 대역의 진동은 잘 제거하는 반면, 저주파수 대역의 진동은 잘 잡아내지 못한 단점이 있었다”면서 “이번에 개발한 장비는 나노급 제조 장비에 사용돼 온 외국제품을 대체할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.
광주=김한식기자 hskim@
