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테스, 반도체장비 특허

테스는 기판 지지 어셈블리와 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 대한 특허를 취득했다고 18일 공시했다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr

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