에스엔유프리시젼,에어플로팅 기술 특허

에스엔유프리시젼이 에어플로팅 장치에 대한 특허를 취득했다.

이번에 에스엔유프리시젼이 취득한 기술은 반도체나 엘시디 및 차세대 태양광 제조공정에서 기판을 이동시키는 장치에 적용되는 기술로써, 평탄도를 조절하면서 기판을 일정한 간격으로 부상시킬 수 있으며, 기판의 간격을 미세하게 조절할 수 있는 기술이다.

전자신문인터넷 이희영 기자 hylee@etnews.co.kr