자기부상열차 원리가 적용된 반도체 이송장치가 선 보일 전망이다.
에스에프에이(대표 신은선 www.sfa.co.kr)는 한국전기연구원(원장 박동욱 www.keri.re.kr)과 오는 2008년까지 ‘자기부상 방식 완전 비접촉 이송장치의 개발’을 위한 공동연구를 수행하는 내용의 양해각서를 교환했다고 5일 밝혔다.
한국전기연구원은 반송설비용 자기부상 및 선형전동기 관련 기술을 제공하고 에스에프에이는 이 기술을 이전받아 자기부상식 비 접촉 반송용 무인차를 내년까지 개발하고 2009년 사업화에 나설 계획이다.
현재 반도체 생산 라인에서는 로봇 등이 바닥에 설치된 안내 가이드를 따라 공정작업 중인 웨이퍼를 작업 순서에 맞춰 각종 장비로 이동시키는 데 이 과정에서 먼지가 발생하거나 마모가 발생했다.
자기부상 방식을 적용하게 되면 천정 근처에 자기 레일을 깔고 무인차가 레일 위를 떠 다니면서 웨이퍼를 이동, 먼지 발생량이 현저히 감소하고 마모가 크게 줄어들 것으로 예상된다.
한국전기연구원과 에스에프에이는 각각 3억1500만원과 3억8500만원 등 2년간 총 7억원을 연구개발비로 투자할 계획이다. 이경남 에스에프에이 그룹장은 “전세계적으로도 자기 부상 방식의 물류 장비를 반도체나 LCD 라인에 적용한 사례가 없다”며 “오는 2009년 반도체 분야를 시작으로 LCD까지 적용을 확대해 나갈 계획”이라고 밝혔다.
유형준기자@전자신문, hjyoo@
에스에프에이―한국전기연구원
자기부상 방식 이송장치 개발 협력
