주성엔지니어링, 美 AKT 제소

　반도체·디스플레이 전공정장비업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)은 세계최대장비업체인 어플라이드머티리얼의 자회사인 AKT와 AKT의 한국내 LCD 장비조립회사인 A1엔지니어링 등 두 회사를 상대로, 특허권 침해금지에 대한 소송을 서울중앙지방법원에 제기했다고 4일 밝혔다.

　주성이 이번에 제소한 특허는 가스분배판을 지지하는 공정 챔버 구조에 관한 것으로, LCD 기판의 대형화에 대응하는 필수적인 기술이다.

　LCD기판이 대형화되면 될수록 PE-CVD(플라즈마 화학증착장치)용 가스분배판(샤워헤드)의 중량이 커져, 가스분배판을 지지하는 구조물이 챔버 내부의 고온에 의해 변형될 가능성이 높다.

　주성의 특허는 이같은 변형 가능성을 최소화하는 공정 챔버 구조 기술로, 8·9세대로 발전할수록 그 중요성이 커질 것으로 예상된다.

　특히 주성은 이 기술을 LCD용 PE-CVD 장치뿐만 아니라, 차세대 성장 동력으로 최근 시장진입에 성공한 대면적 솔라셀 장비에도 적용해 놓고 있다.

　주성의 특허 제소와 관련, AKT측은 “(특허 소송을 제기했다는) 이야기는 들었으나 아직 공식적으로 통보 받은 바 없다”며 “내용이 파악되는대로 입장을 정리할 것”이라고 밝혔다.

　한편 주성엔지니어링이 AKT를 제소한 것은 지난해 4월 대만 법정(반송장비 특허 관련)에 이어 이번이 두 번째로, 국내에서는 처음이다. 두 회사의 특허 싸움은 2004년 AKT의 모회사인 어플라이드머티리얼이 대만에서 주성을 상대로 특허침해금지소송(샤워헤드 특허 관련) 및 판매중지가처분신청을 내면서 시작됐다. 이에 맞서 주성은 특허무효소송과 판매중지가처분에 대한 취소 소송을 제기했으며, 현재 판매중지가처분신청은 주성측 입장이 반영돼 잠정 해지됐고, 특허무효소송은 1심에서 계류 중에 있다.

　심규호기자@전자신문, khsim@