2015년까지 반도체장비 국산화율 50% 달성

　정부가 오는 2015년까지 반도체장비 국산화율을 50%까지 끌어올리기로 했다. 이를 위해 반도체장비 분야의 35개 표준을 개발하기로 했다.

　산업자원부 기술표준원은 12일 이 같은 내용을 골자로 하는 ‘반도체장비 표준화 5개년 계획’을 확정했다. 이 계획에 따르면 정부는 올해부터 2011년까지 5년 동안 △웨이퍼 균일성 시험방법 △장비별 인터페이스 △세정장비 성능평가 방법 △반도체장비 안전설계 지침 △반도체장비 용어 등 부품·장비·안전·환경·에너지 및 용어에 관한 35개 표준을 개발하고 국산 장비 상용화도 적극 지원하기로 했다.

　이 같은 계획은 우리나라 반도체 완제품 산업은 세계 선두권 경쟁력을 확보하고 있지만 반도체 장비는 현재 18%만이 국내에서 생산·공급될 정도로 기반이 취약하다는 판단에 따른 것이다. 현재 관련 장비 대부분을 일본과 미국에서 수입하고 있다.

　정부는 반도체장비의 국산화 촉진에 필요한 국산개발 부품 및 장비의 성능평가 방법, 장비 안전설계 지침 등의 표준화에 집중할 계획이다. 특히 민간부문 표준화 대응력 강화를 위해 표준화포럼을 구성하고 국제표준으로 활용되는 세계반도체장비재료협회(SEMI) 표준 체계에 적극 대응할 방침이다.

　김익수 기술표준원 기계건설표준팀장은 “특히 부품과 장비의 신뢰성과 성능을 평가하는 데 필요한 표준인프라가 미흡해 국내 업체가 반도체 장비를 개발해도 국내외 수요 기업에 판매하는 데 어려움을 겪고 있다”며 “앞으로 민·관 합동으로 체계적인 표준화 활동을 벌여 반도체장비 업체의 개발 비용 감소와 개발 기간 단축을 유도하겠다”고 밝혔다.

김승규기자@전자신문, seung@