니콘, 65㎚ 이하 반도체용 스태퍼 개발

　니콘이 회로선폭 65㎚ 이하 반도체 양산용 스태퍼(노광장치)를 개량해 생산성을 20% 높인 신제품을 올 하반기 투입한다.

　8일 니혼게이자이신문에 따르면 니콘은 ArF(불소알곤)를 광원으로하는 노광장치 신제품을 개발, 하반기 출시할 예정이다. 　회사 측은 반도체 업체들의 65㎚ 지원 라인 증강이 본격화되면서 스태퍼 수요도 늘 것으로 기대된다고 밝혔다.

　니콘은 지난해 출하 개시한 55㎚ 지원 액침 스태퍼용 구조를 65㎚에도 적용했다. 지금까지 약점으로 지적돼 온 웨이퍼 처리장수가 20∼25% 향상됐다.

명승욱기자@전자신문, swmay@