고분해능 주사전자현미경 국산화

물체의 미세구조 관찰 및 정밀측정을 위한 필수장비인 고분해능 주사전자현미경<사진>이 개발돼 고가의 첨단 연구장비 국산화의 길이 열렸다.

한국표준과학연구원이 지난 2005년부터 과학기술부의 첨단연구분석장비 핵심 요소기술개발사업의 지원을 받아 개발한 전자현미경은 지금까지 전량 수입에 의존해온 첨단연구분석장비로 분해능은 3.5㎚로 수입장비에 비해 선명도와 밝기 등을 개선됐다.

과기부는 이번에 개발한 장비의 단가가 기존 수입장비의 절반 수준인 5000만원으로 낮아졌으며 수입대체효과도 연간 300억원에 이를 것으로 전망했다. 또 중·고등학교 및 대학의 교육용으로도 보급이 가능해 국내 과학교육 발전에 기여할 전망이다.

이번 장비 국산화를 담당한 한국표준과학연구원의 조양구 박사는 “주사전자현미경 국산화로 이 장비의 응용제품이 전자선 노광 장비, 생물용 저진공 전자현미경, 반도체 검출기장착 분석 현미경 및 자성체관측이 가능한 스핀 전자현미경 등 많은 장비의 국산화가 가능할 것”이라고 밝혔다.

한편, 이번 전자현미경 관련 기술은 지난해 12월 중소기업에 이전됐으며 오는 5월 말께 제품으로 출시될 예정이다.

주문정기자@전자신문, mjjoo@