서울대 자연대학 홍승훈 교수 연구팀은 탄소나노튜브(CNT) 및 바나듐 산화물 나노선을 이용해 초고집적도 분자·양자 소자를 기존 반도체 장비로 대량 생산하는 기술을 개발했다고 16일 밝혔다.
이 기술은 기존 반도체 장비로 반도체 기판의 특정한 위치에 비흡착성 분자막을 입힌 후 CNT·나노선을 뿌리면 깨끗한 기판 표면에만 자동적으로 결합된다는 원리를 이용했다.
이 기술은 현재 반도체 산업 현장에 바로 적용될 수 있어 초고집적도 분자 소자의 활용도를 높일 수 있을 것으로 기대돼 지난 4일자 ‘네이처 나노테크놀로지’ 창간호에도 관련 논문이 게재됐다.
연구팀은 이 기술을 이용해 고성능 트랜지스터 회로 및 바이오센서 대량 생산에 성공했으며 CNT·나노선 회로를 국내외 연구진에게 제작·공급하는 ‘나노튜브·나노선 회로 파운더리(Nanowire IC Foundry) 서비스’를 최근 시작했다.
홍승훈 교수는 “이미 개발된 기술을 바탕으로 CNT·나노선 소자 산업화 연구를 계속 진행할 것”이라며 “고성능 트랜지스터 회로와 바이오센서 상품화에 주력하겠다”고 설명했다.
이호준기자@전자신문, newlevel@
