[아이세덱스2006]반도체기술대상-국무총리상: 파이컴 이억기 부회장

　파이컴 이억기 부회장은 MEMS 기술로 개발한 반도체 검사용 신개념 MEMS 프로브카드로 국무총리상을 수상했다.

　기존 제품이 1회에 최대 32칩을 검사할 수 있었으나 MEMS카드는 1회에 200개 이상의 칩까지 검사할 수 있어 검사 시간이 단축돼 생산성이 향상되며 다양한 디바이스를 검사할 수 있다. 단시간에 많은 칩을 검사, 생산 수율을 높일 뿐 아니라 반도체 검사장비인 IC 테스터 장비의 구입비를 절감할 수 있다.

　또 MEMS카드는 기존 수작업 방식이 아닌 반도체 공정을 활용한 제품이기 때문에 잦은 유지 보수로 인한 낮은 생산성·재현성을 안정화하며 대면적 웨이퍼에 대한 적응력이 탁월하다. 얼라인먼트 정밀성의 한계를 극복한 것도 장점이다.