KLA텐커, 속도 개선 패턴 웨이퍼 검사장비 개발

　KLA텐커(지사장 홍완철)는 65㎚ 이하 반도체 공정의 검사 속도를 기존 제품보다 2배 향상시킨 패턴 웨이퍼 검사 장비(제품명 Puma 9110)를 개발했다고 17일 밝혔다.

D램 및 플래시메모리, 로직 반도체 생산 공정에 쓰이는 이 제품은 추가 픽셀 조합으로 광범위한 생산 모드 선택을 가능케 해 샘플링 빈도 증가 및 감도 개선 등을 통해 장비의 경제성을 증가시켰다. 독자적인 멀티 픽셀 센서 및 라인 스캔 기술을 통하여 고해상도 DF(Darkfield) 이미징 검사를 수행한다. 전공정에서의 검사 속도를 개선, 설비 및 운용에 많은 비용이 투자되는 65㎚ 이하 공정의 수율을 높이고 원가를 절감할 수 있다고 회사측은 설명했다.

한세희기자@전자신문, hahn@